Pulverfilterpatroner av rostfritt stål med VCR 1/2"-gränssnitt är kritiska komponenter i halvledartillverkning, speciellt designade för gasdistributionssystem med hög -renhet. Dessa filterpatroner använder avancerad metallpulversintringsteknik för att uppnå exakt filtrering, som effektivt fångar upp partiklar så små som 5 mikron. Detta säkerställer leveransen av, vilket säkerställer leveransen, integritet för känsliga halvledartillverkningsprocesser. Videobandspelarens 1/2"-gränssnitt ger en läckagesäker-metall-till-metalltätning, som uppfyller de stränga kraven i halvledarmiljöer där även små gasföroreningar kan leda till betydande defekter i mikroelektroniska enheter. Deras robusta konstruktion av-korrosionsbeständigt rostfritt stål garanterar hållbarhet och{15}}långvarig tillförlitlighet under extrema förhållanden.

I halvledarapplikationer spelar dessa filterpatroner en viktig roll för att skydda nedströmsutrustning såsom massflödesregulatorer och precisionsventiler från partikelförorening. Genom att integreras sömlöst i befintliga gasledningar med hög-renhet förenklar de installation och underhåll samtidigt som systemets stilleståndstid minimeras. Kombinationen av hög filtreringseffektivitet, exceptionell kemikaliebeständighet och pålitlig tätning gör dem oumbärliga för att säkerställa konsekvent gasrenhet och driftseffektivitet i avancerade halvledarproduktionsanläggningar.

Produktspecifikationer

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Material: 316L pulver
Storlek: φ40*196,3mm
Filterprecision: 5 mikron
Gränssnitt: VCR1/2"
Teknisk: Sintring

Produktens funktioner

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Ultrahög renhet och partikelretention
- Sintrad struktur i rostfritt stål (vanligtvis 316L) ger ett rent, helmetallfiltreringsmedium utan bindemedel, lim eller organiska rester.
- Kan hålla kvar partiklar under mikron ner till 0,5 μm, vilket förhindrar att mikrokontamination når processkammare eller wafers.
- Ingen partikelavgivning, vilket säkerställer stabilt partikelantal under långvarig användning.

2. Robust mekanisk och termisk stabilitet
- Helmetallkonstruktion tål högt tryck, höga temperaturer och frekventa termiska cykler.
- Bibehåller mekanisk integritet under vibrationer, omvänt flöde eller tryckpulserande-förhållanden som är vanliga i gasdistributionssystem.
- Kompatibel med värmespårning för gasledningar med hög temperatur.

3. Rengörbar och regenererbar
- Filterelement kan spolas tillbaka, rengöras med ultraljud eller bakas i vakuum, vilket möjliggör lång livslängd jämfört med polymer- eller keramiska filter.
- En typisk livscykel sträcker sig till 5–10 gånger den för engångsfilter av PTFE eller PVDF, vilket minimerar stilleståndstiden och den totala ägandekostnaden.

4. Kemisk kompatibilitet och korrosionsbeständighet
- 316L rostfritt stål bibehåller en passiv oxidfilm i miljöer med klorid, fluor, ammoniak och sura gaser.
- Icke-reaktiv yta förhindrar metalljonextraktion eller förändringar i gassammansättningen.

applikationer

1. UHP gasdistributionsledningar
- Installeras i bulkgasleveransskidor, gasskåp och VMB/VMP-paneler, filtrerar bort partiklar innan gas kommer in i MFC:er eller processverktyg.
- Används i N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ och andra gasledningar med hög renhet som matar kritiska processer.

2. Mass Flow Controller (MFC) inloppsskydd
- Förhindrar partikelkontamination och ventilslitage i precisionsmassflödesregulatorer.
- Förbättrar långsiktig flödesstabilitet och kalibreringskonsistens för MFC:er.

3. Processkammare och verktygsgasinlopp
- Säkerställer partikelfri, fuktfri leverans till CVD-, ALD-, ets- och diffusionsugnar.
- Används i SiH₄-, WF₆-, BCl₃-, PH₃- och TEOS-linjer där renhet är avgörande för filmkvalitet och -utbyte.

4. Specialiserade gas- och prekursorsystem
- För metallorganiska eller halogenbaserade gaser där kemisk tröghet och temperaturstabilitet är avgörande.
- Placeras ofta efter förångare eller bubblare för att fånga upp kondenserade partiklar eller droppar.

Kontakta oss

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

E-post:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Adress: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kina

Whatsapp: +86 18992731201

Populära Taggar: 5 mikron rostfria pulverfilterpatroner med videobandspelare 1/2" gränssnitt, Kina, leverantörer, tillverkare, anpassade, användning, prislista, till salu, i lager, gratis prov, poröst material

Produkter

5 mikron pulverfilterpatroner i rostfritt stål med 1/2" videobandspelare

Produktspecifikationer

Produktens funktioner

applikationer

Kontakta oss